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臭氧發生器優于紫外線照射，與紫外線相比，臭氧的好處：
(1) 臭氧到處滲透，沒有死角。紫外線只有照射到物體表面且達到定的照射強度標準才有效果。食品車間般比較高大，致使紫外線照射強度遠遠不夠，特別是距離遠，照射產生很大死角，如加工案板下部等。臭氧為氣體，滲透性強，擴散性好，濃度均勻，沒有死角。
(2) 速度快。紫外線照射需要較長的作用時間，般要照射6小時以上，而符合標準濃度的臭氧只需開機1小時以上。
(3) 高濕度下效果更好。紫外線照射在環境相對濕度達到60%以上時，消毒效果急劇下降，濕度達到80%以上時反可誘使細菌復活。臭氧則相反，濕度越高，效果越好。這是由于高濕度下細胞膜膨脹變薄，其組織容易被臭氧破壞，這特性對于食品中普遍存在的高濕環境特別適合。
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