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1902年，座采用臭氧處理工藝的大型水廠在德帕德博恩建立，目前臭氧工藝在歐美日等發(fā)達家已得到廣泛應(yīng)用，凈化后的自來水可供直接飲用； 1937 年，世界上座使用臭氧處理的商業(yè)游泳池在美啟用，目前臭氧已成為奧運水中競賽項目的水質(zhì)消毒方式。
臭氧發(fā)生器是氧氣通過介質(zhì)阻擋放電產(chǎn)生臭氧所必需的裝置，由臭氧電源、臭氧發(fā)生室、冷卻裝置、儀器儀表等組成。臭氧電源是為臭氧物理合成提供高壓和能源的電氣裝置，主要包含整流、逆變、升壓單元及電源控制系統(tǒng)；臭氧發(fā)生室是由單組或多組臭氧發(fā)生單元組成的裝置，是氧氣通過高壓電暈放電轉(zhuǎn)化為臭氧的場所。 臭氧發(fā)生器是臭氧系統(tǒng)核心的裝置，與氣源裝置、接觸反應(yīng)裝置、尾氣處理裝置、檢測控制儀表等共同組成套完善的臭氧系統(tǒng)。
臭氧發(fā)生器的分類介紹：
按每小時產(chǎn)生臭氧量， 臭氧發(fā)生器分為小型（5g/h～100g/h） 、 中型（>100g/h～1000g/h）和大型（>1kg/h）。
按臭氧發(fā)生單元的結(jié)構(gòu)形式，臭氧發(fā)生器分為管式和板式。目前，工業(yè)應(yīng)用普遍采用管式臭氧發(fā)生器。
按介質(zhì)阻擋放電的頻率， 臭氧發(fā)生器分為工頻（50Hz、 60Hz） 、 中頻（100Hz～1000Hz）和高頻（>1000Hz）。工頻臭氧發(fā)生器放電所需的電壓高，臭氧出氣濃度低，體積大，效率低，目前處于逐步淘汰的階段。
按供氣氣源，臭氧發(fā)生器分為空氣型和氧氣型?？諝庑鸵愿稍餄崈舻膲嚎s空氣為原料；氧氣型以工業(yè)氧氣或現(xiàn)場制氧為原料。
按冷卻方式，臭氧發(fā)生器分為水冷卻和空氣冷卻，用于水處理、煙氣處理等域的大型臭氧發(fā)生器多為水冷卻；用于空氣消毒、果蔬保鮮等域的小型臭氧發(fā)生器多為空氣冷卻。
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