臭氧發生設備是利用高壓放電原理，將氧氣轉化為臭氧的過程。即將高壓交流電加在中間隔有絕緣體并有一定間隙的高壓電極上，讓經過的干燥凈化空氣或氧氣通過。當高壓交流電達到10-15KV時，產生藍色輝光放電，電暈中的自由高能離子離解O2分子，經碰撞聚合為O3分子。也可利用電解水法獲得，臭氧的不穩定性使其很難實現瓶裝貯存 ，一般只能利用臭氧發生器現場生產，隨產隨用。臭氧發生設備的分類按臭氧產生的方式劃分主要有三種：高壓放電式、紫外線照射式、電解式。
臭氧發生設備在水處理各中的應用及臭氧用量：
1、應用在食品加工：如生產用水、生產車間、包裝間、更衣室、無菌間、生產設備、工具等。
2、應用在飲料加工：如純凈水、礦泉水、各種飲料的生產用水、生產車間、包裝間、更衣室、無菌間、生產設備、工具等。
3、應用在果蔬加工：如果蔬儲存、保鮮、加工、的生產用水、生產車間、包裝間、更衣室、無菌間、生產設備、工具等。
4、應用在冷庫保鮮：如果蔬、糧食、禽蛋、肉類、水產品等防腐保鮮、延長儲存。
5、應用在制藥：如生產用水、空調系統、車間、更衣室、無菌室等。
6、應用在醫藥：如制藥廠、醫院病房、、被服、手術室、醫療器械、無菌室等。
7、應用在養殖種殖業：如養雞、養魚、蔬菜大棚等、消毒、除臭、凈化空氣等。
8、應用在公共場所：如賓館、飯店、學校、網巴、候車大廳等凈化空氣、預防交叉感染。
9、應用在飲用水：如深井水、市政供水、二次加壓供水、農村飲用水。
10、應用在中水、污水、廢水、廢氣。
11、應用在游泳池、游泳館的水質凈化、空氣凈化。
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