臭氧發生設備主要有原料進氣系統、干燥系統、遍壓變頻系統、放電系統、冷卻系統和控制系統組成。原料氣經干燥后進入放電室，放電室中有五組20根放電管，400V、50Hz的輸入電壓經升壓變頻后變為4000V、900Hz的輸出電壓送放電管，原料氣中的氧經高壓中頻放電后電離為臭氧。放電管為內腔的復合管道，內管有非玻璃放電棒與接地不銹鋼內殼組成，用于進出氣體和放電，外管為不銹鋼管，用于通冷卻水而帶走放電后產生的大量熱量。
臭氧發生設備使用和維護的注意事項：
臭氧發生設備的控制面板采用觸模式液晶顯示屏，使用十分方便，設備的維護也比較簡單，但有幾點必須引起足夠重視：
氣體的干燥：由于O2的電離是用高壓放電，因此必須氣體的干燥，否則會燒毀放電管。
氣體要滿足下列要求：a.露點<-60℃；b.碳氫化和物含量<15ppm；每次停機時間超過一周，重新開機必須先吹掃系統12小時，不可以使水回流到發生器、干燥機，亦不可使濕空氣進入發生器。冷卻水對于臭氧發生器的正常運行十分重要，CFL-5型臭氧發生器的冷卻水必須滿足下列要求：氯含量≤50mg/l；入口溫度2~30℃；操作壓力2~6barg；流量5.5m3/h；
臭氧發生設備是一種十分的產品，但仍存在著由于使用不當、維護不好、材質更換等原因而導致危險的可能。危險的來源有：氧氣、臭氧、機械為線、電及空氣壓力等，其中氧氣和臭氧優易引起危險。
但臭氧用作原料氣時，由于其有助燃并加速燃燒的特性(尤其當空氣中含量>25%體積)，因此如果通風不好、設備內部或外部管線泄漏、或打開含氧系統都可能使氧濃度上升危險的水平。氧濃度升高增加了火警危險。為此，特別禁止明火，不準使用油布，與氧接觸設備不要與油和黃油接觸。
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